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连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding，同时管内通入同等纯度的Ar，防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。

气体管道工程是如何进行分离的？

气体管道工程在化工行业的使用范围广泛，大家都知道气体管道给我们生活带来的作用，那么气体管道工程是如何进行分离的呢?下面就来为大家介绍一下：

气体管道工程

1、 按材料性质分类：可分为金属管道和非金属管道。

2、按设计压力分级：管道工程输送介质的压力范围很广，从真空负压到数百兆帕。工业管道以设计压力为主要参数进行分级，可分成真空管道、低压管道、中压管道、高压管道和超高压管道。

工业管道按压力分级 级别名称设计压力P(MPai)级别名称设计压力P(MPa) 真空管道P0高压管道10超高压管道P100 中压管道1.6。

3、按输送温度分类：工业管道输送介质的温度差异很大，按介质温度可分为低温管道、常温管道、中温和高温管道。 工业管道按介质温度分类 类别名称介质工作温度t(℃)类别名称介质工作温度t(℃) 低温管道t≤-40中温管道120 常温管道-40450。

4、按输送介质的性质分类：给排水管道、压缩空气管道、氢气管道、氧气管道、乙i炔管道、热力管道、燃气管道、燃油管道、剧i毒流体管道、有毒流体管道、酸碱管道、锅炉管道、制冷管道、净化 纯气管道、纯水管道。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。